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化學機械拋光、研磨劑用矽溶膠

化學拋光和機械拋光相結合,形成化學機械拋光的拋光方法,極大地提高了矽片的拋光精度和拋光速度。DGJ-30型矽溶膠配製的漿料成為微電子工業的半導體,集成電路等矽片的理想拋光液。